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苏州谱瑞孚精密测量技术有限公司地面振动检测应用于无锡某韩国半导体企业

精密设备平台微振动检测

    测量井字梁及平台的振动数据,根据测量数据分析1-160Hz的振动频率幅值,给出微振动等级标准,采用振动速度值(mm/s)作为评判信号类型;

    判断标准:

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      检测图片:

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      检测结果:

image.png

 




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