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PF地面振动检测在半导体行业的应用地面微振动测试,平台微振动测试技术: 对放置精密加工设备,精密如激光设备,激光导程测量仪,三坐标设备,半导体设备,光刻机等设备平台或地面,需要进行微振动检测,我们将出具VC-A,VC-B,···等级及波形数据报告;对机加工,磨床,CNC机床地面也有着隔振设计规范,需要对防止这些设备的地面或平台进行振动测试,根据加工精度,对应不同标准进行判定,判断当前振动是否超标。无锡某韩国企业,半导体行业光刻机,蚀刻机等精密设备,对设备平台单独进行隔振设计,平台搭建完成后,对隔振平台进行微振动测试,判断是否符合微振动标准。国内知名大学半导体设备研究院,房间周围有空调设备运行,需要对半导体设备进行微振动测试,看空调运行对平台振动的影响大小,振动是否符合地面微振动标准。 上一篇地面及平台微振动服务下一篇轴承故障分析技术 |